⭐ נקודות עיקריות
- חברת ASML מכריזה על הגדלת הספק מקור האור במכונות ה-EUV ל-1,000W.
- השדרוג צפוי לאפשר הגדלה של כ-50 אחוזים בתפוקת ייצור השבבים.
- הטכנולוגיה מכפילה את קצב ירי טיפות הבדיל ל-100 אלף בשנייה בעזרת לייזר כפול.
- המהלך נועד לשמר את היתרון של החברה מול מתחרות בארצות הברית ובסין.
חברת ASML ההולנדית, היצרנית הבלעדית כיום בעולם של מכונות הליתוגרפיה EUV (ר”ת Extreme Ultraviolet), הציגה פריצת דרך משמעותית בטכנולוגיית ייצור השבבים שלה, כך לפי דיווח של רויטרס, לפיו חוקרי החברה הצליחו להגדיל את הספק מקור האור במכונות מ-600W כיום ל-1,000W.
לדברי החברה, השדרוג נועד לאפשר הגדלה של עד 50% בתפוקת השבבים עד סוף העשור הנוכחי – צעד המגיע על רקע מאמציה של ASML לשמור על היתרון הטכנולוגי שלה מול התחרות הגוברת בשנים האחרונות.
שדרוג ה-EUV החדש של ASML
מכונות ה-EUV של ASML הן כלי קריטי עבור יצרניות שבבים מובילות כמו TSMC ואינטל לייצור מעבדים מתקדמים.
האתגר הטכנולוגי המרכזי במכונות אלו הוא יצירת אור אולטרה-סגול בהספק גבוה מספיק כדי להדפיס שבבים בנפחים גדולים, תהליך שנעשה כעת יעיל ומהיר הרבה יותר.
היתרון המרכזי של ההספק המוגדל הוא היכולת לייצר יותר שבבים בכל שעה נתונה. האור החזק יותר מקצר את זמן החשיפה הנדרש עבור פרוסות הסיליקון המצופות בכימיקלים רגישים לאור, מה שמוביל להוזלה משמעותית בעלות הייצור של כל שבב בודד.
ארכיטקטורה וביצועים
כדי להפיק אור באורך גל של 13.5nm, המערכת של ASML יורה זרם של טיפות בדיל מותכות לתוך תא, שם לייזר פחמן דו-חמצני (CO2) עוצמתי מחמם אותן והופך אותן לפלזמה.
הפלזמה פולטת את אור ה-EUV, אשר נאסף על ידי ציוד אופטי מדויק של חברת צייס (Zeiss) ומכוון להדפסת השבבים.
הגדלת ההספק של הלייזר ל-1,000W מתורגמת ישירות לעלייה בתפוקת המכונות, עם הצורך להכפיל את כמות טיפות הבדיל לכ-100,000 בכל שנייה.
בנוסף, החברה עברה לשימוש בשני פולסים קטנים של לייזר כדי לעצב את הפלזמה, זאת במקום פולס בודד שהיה נהוג במכונות מהדורות הקודמים.
צוות הפיתוח של ASML ציין כי יש דרך ברורה להגיע להספק של 1,500W, ואין מניעה תיאורטית להגיע בעתיד הרחוק יותר גם ל-2,000W.
זמינות
נכון לעכשיו, ASML לא פרסמה תאריך השקה ספציפי למכונות החדשות. עם זאת, החבה ציינה כי היעד המרכזי הוא להטמיע את היכולות הללו באופן מסחרי עד שנת 2030, שינוי שיאפשר לעבד כ-330 פרוסות סיליקון בשעה על כל מכונה, לעומת כ-220 פרוסות בשעה כיום.
