חברת וואווי (Huawei) הגישה פטנט חדש המתאר שיטת ייצור לשבבים בתהליך 2nm תוך שימוש בטכנולוגיית DUV קיימת, וזאת בניסיון לעקוף את המגבלות שמטילות ארצות הברית על יצואי ציוד ייצור מתקדם לסין.
הפטנט, שנרשם ב-2022 תחת המספר CN119301758A (גוגל פטנטים) אך פורסם רק לאחרונה, עדיין ממתין לאישור.
הפטנט אותר על ידי החוקר Dr. Frederick Chen, ובו מתוארת שיטה להשגת metal pitch, המרחק בין מרכזי שתי שכבות מתכת סמוכות על גבי שבב, של 21 ננומטר – שווה ערך לתהליכי 2nm של יצרניות כמו TSMC וסמסונג – באמצעות טכנולוגיית SAQP (ר”ת Self-Aligned Quadruple Patterning) שמצריכה רק ארבע חשיפות לייזר במקום מספר גבוה יותר.
ההבדל בין DUV ל-EUV
כאשר אנו מדברים על ייצור שבבים כמו מעבדים או פלטפורמות למכשירים סלולריים בייצור 3nm, 4nm ועוד, אנו מתייחסים ל”בית יציקה” (Foundry) המייצר את השבבים הפיזיים בפועל.
בין יצרני השבבים המתקדמים ביותר בשוק כיום ניתן למנות את סמסונג, TSMC ואינטל, חברות המשתמשות במכונות הייצור של ASML ההולנדית המשתמשות בטכנולוגיית EUV שנועדה לאפשר ליצור את הדור הבא של השבבים בהשוואה לטכנולוגיית ה-DUV הקודמת.
טכנולוגיית EUV (ר”ת Extreme Ultraviolet) המתקדמת יותר משתמשת באור עם אורך גל קצר במיוחד (13.5 ננומטר) המאפשר לחרוט תבניות זעירות יותר על גבי הוופר בחשיפה אחת או שתיים. זהו הסטנדרט המודרני לייצור שבבים מתקדמים החל מתהליך 7nm ומטה.
טכנולוגיית DUV (ר”ת Deep Ultraviolet) מהדור הקודם משתמשת באור עם אורך גל ארוך יותר (193 ננומטר), ולכן דורשת טכניקות מורכבות של חשיפות מרובות כדי להשיג את אותה רמת דיוק. למרות שזו טכנולוגיה ישנה יותר, היא זמינה יותר ואינה כפופה לסנקציות מהמערב.
Huawei's patent for 2nm-class patterning without EUV has been published.https://t.co/G7JYNehVnk pic.twitter.com/o6wRKL1iYl
— Fred Chen (@DrFrederickChen) November 30, 2025
אתגרים מסחריים
למרות הפוטנציאל הטכנולוגי, קיימת ספקנות רבה לגבי הכדאיות המסחרית של הגישה החדשה המוצגת בפטנט.
השימוש בטכנולוגיית DUV לייצור שבבים כה מתקדמים עשוי להביא לתפוקות נמוכות משמעותית בהשוואה לפתרונות מבוססי EUV, מה שיגרום לעלויות ייצור גבוהות ולקשיים בייצור המוני.
עם זאת, הצעד מגיע בעקבות ההגבלות האמריקאיות שמונעות מסין לרכוש מכונות ייצור EUV מהחברה ההולנדית ASML, היצרנית הבלעדית של ציוד זה בעולם.
המגבלות הללו מאלצות את החברות הסיניות לפתח פתרונות חלופיים או להסתפק בטכנולוגיות ייצור ישנות יותר.
